高纯氢的应用不及普通氢广泛，但在高科技产业和高端产品制造中不可缺少。
1、电子行业：应用于单晶硅的挂靠和集成电路生产中的扩散工艺，发光二极管和液晶显示屏的生产挂靠。
2、冶金行业：应用于精密铜带中退火和成品退火。
3、机械行业：应用于轴承和精密机械零件的退火工艺。
4、粉末冶金行业：粉末冶金制品的还原和压制工件的烧结以及不锈钢制品的退火工艺。
5、玻璃行业：浮法玻璃生产退火用气。
6、钨、钴等稀有金属中纳米材料的加工制作。